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热壁干馏炉,温度可达 1100 °C
 
 NR 75/06 带全自动供气装置和触摸板 H 3700 NR 17/06 带有供气工序包

NRA ../06 炉型设有内置加热装置

NRA 17/06 - NRA 1000/11

气密的干馏炉根据温度的不同配有直接或间接加热装置。这类炉型适于各种需要预设防护或反应气体环境的热处理工艺。即便是对于 600 ℃ 以下的真空热处理,这种紧凑型的炉型同样适合。炉腔由一个气密干馏器构成,干馏器在门范围内配有一个水冷却装置,用于保护专用的密封装置。配有相应安全装置的干馏炉同样适于氢气这种反应气体环境下的应用,或配以 IDB 工序包用于惰性排胶或热解工艺。

根据工艺要求的温度范围的不同,采用不同的炉型:

NRA ../06 型,最高温度为 650 ℃

  • 安装在干馏器内部的加热元件
  • 温度均匀性达到 + 3 K,在 100 - 600 的有效范围内
  • 1.4571 的干馏器
  • 在干馏后部区域设有循环鼓风机,用于优化温度均匀性

NRA ../09 型,最高温度为 950 ℃

  • 外部的加热装置配有包覆干馏器的加热元件和一个辅助门加热装置
  • 温度均匀性达到 + 3 K,在 200 - 900 的有效范围内
  • 1.4841 的干馏器
  • 在干馏后部区域设有循环鼓风机,用于优化温度均匀性

NR ../11 型,最高温度为 1100 ℃

  • 外部的加热装置配有包覆干馏器的加热元件和一个辅助门加热装置
  • 温度均匀性达到 + 3 K,在 200 - 1050 的有效范围内
  • 1.4841 的干馏器

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采用定制规格的 NRA 480/04S 型

用于对干馏器冷抽真空

标准规格 适于所有型号

基本型

  • 边框结构的紧凑型炉膛,配有内置不锈钢插板
  • 炉膛内装有调节和供气装置
  • 干馏器内设有焊接的装载支架,在设有气氛循环装置的炉型内设有导气盒
  • 右侧止挡的摆动门配有开放式的冷却水系统
  • 950 °C 和 1100 °C 的多区调节,根据炉腔和门分隔炉腔根据大小不同还额外分成一个或多个加热区。
  • 温度调节装置,作为装料调节装置使用,在干馏器内部和外侧带有温度测量装置
  • 用于一种不可燃烧防护气体的供气系统,带有流量计和电磁阀,通过调节装置开关
  • 对于 600 以下的炉型而言可选用真空泵抽真空
  • 可以连接用于冷抽真空的真空泵
  • 带有 H 700 型触摸屏的PLC调节装置(以及650 °C 版本的 P 300),见第 62 页。

辅助装备

  • 用于其它不可燃烧气体的装备
  • 自动供气系统,包括 MFC 流量调节器,用于可变换的流量,通过带有触摸面板H 3700 的 PLC 调节装置调控
  • 用于对 600 以下干馏器抽真空的真空泵,根据泵的不同真空可达 10-5 毫巴
  • 用于缩短工艺时间的冷却系统
  • 带有封闭冷却水回路的热交换器,用于门冷却
  • 剩余氧含量测量装置

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 NR 200/11 H2 用于带有氢气的热处理 通过升降叉车对 NR 300/06 炉型装料
H2 用于在氢气模式下的操作

在使用氢气作为工艺气体时,炉子还附加配有一个所需的安全装置。作为安全相关的传感器,仅采用带有相关认证证书的零部件。炉子通过一个无故障 PLC 控制系统 (S7-300F/安全控制系统) 进行调节。

  • H2 在 50 毫巴相对调节过压的情况下导入
  • 经过认证的安全设计方案
  • 带有图像触摸面板 H 3700 的 PLC 调节装置,用于数据输入
  • 冗余氢气进气阀
  • 所有工艺气体的预压均受到监控
  • 设有用于使用惰性气体冲刷炉腔的旁通阀
  • 用于废气再燃烧的火炬
  • 紧急流通容器,用于在故障情况下冲刷炉子

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采用水蒸气在一个 NRA 系列的炉内对钻头进行蓝化处理

IDB 规格用于在防护气体下或热解工艺的排胶

NR 和 NRA 型干馏炉特别适于防护气体下或热解工艺的排胶。在 IDB 规格中,炉子采用一个安全设计方案,炉腔通过防护气体冲刷。废气再废气点火装置中燃烧。无论是冲刷还是点火功能将被监控,以便确保安全运行。

  • 在50毫巴相对调节过压的情况下进行工艺操作
  • 经过认证的安全设计方案
  • 带有图像触摸面板 H 1700 的 PLC 调节装置,用于数据输入
  • 工艺气体预压经过监控
  • 设有用于使用惰性气体冲刷炉腔的旁通阀
  • 用于废气再燃烧的火炬
型号最高温度型号最高温度炉腔尺寸,以毫米为单位炉腔容积以长度为电气
  单位接线*
NRA 17/..650 或 950NR 17/111100225350225173相
NRA 25/..650 或 950NR 25/111100225500225253相
NRA 50/..650 或 950NR 50/111100325475325503相
NRA 75/..650 或 950NR 75/111100325700325753相
NRA 150/..650 或 950NR 150/1111004507504501503相
NRA 200/..650 或 950NR 200/11110045010004502003相
NRA 300/..650 或 950NR 300/1111005709005703003相
NRA 400/..650 或 950NR 400/11110057012505704003相
NRA 500/..650 或 950NR 500/11110072010007205003相
NRA 700/..650 或 950NR 700/11110072013507207003相
NRA 1000/..650 或 950NR 1000/111100870135087010003相
*有关接线电压的注意事项请参见第 62 页

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最高温度 2400 °C 或 3000 °C 为井式冷壁干馏炉
 
 SVHT 9/24-W 带钨丝加热装置

带钨丝加热装置的圆柱形干馏炉

石墨加热模块

水冷调节装置

SVHT 2/24-W - SVHT 9/30-GR

SVHT 系列相对 VHT 炉型而言(第 56 页)具有更高的性能数据,包括可达到的真空和最高温度。通过钨丝加热装置,SVHT ..-W 系列的井式炉可以实现甚至是在高真空状态下最高 2400 ℃ 的热处理工艺。带有石墨加热装置的 SVHT ..-GR 系列炉型则同样采用井式炉则可以在惰性气体环境下达到 3000 ℃ 的热处理温度。

  • 带 2 或 9 升炉腔的标准大小
  • 井式炉规格,从上方装料
  • 带内置不锈钢结构板的边框结构
  • 双壁水冷不锈钢容器
  • 工艺气体和真空功能的手动操作
  • 用于非可燃工艺气体的手动供气系统
  • 炉前带登梯,符合人体工学供料高度
  • 带气压减震器的容器盖
  • 开关和调节设备以及供气系统内置在炉膛内
  • 其它标准产品特征,见 VHT 型的标准规格说明

加热备选方式

SVHT ..-GR

  • 可用于以下工艺:
    • 在 2200 以下保护气体或反应气体或真空环境下
    • 在 3000 以下的惰性气体(氩、氦)环境下
  • 根据所采用的泵型不同,最大真空可达10-3 mbar
  • 加热装置: 石墨加热元件,圆柱型布置
  • 隔热装置: 石墨隔离装置
  • 通过光学高温计进行温度测量

SVHT ..-W

  • 可用于 2400 以下保护气体或反应气体或真空环境下
  • 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-5 毫巴
  • 加热装置: 圆柱形钨丝加热模块
  • 隔热装置: 钨丝和钼钢板
  • 采用光学高温计进行温度测量
  • 辅助装备,如自动工艺气体控制装置或用于带可燃气体工作的部件包括安全系统等信息请参见炉型 VHT
型号最高温度炉腔尺寸,以毫米为单位炉腔容积以长度为外尺寸mm连接功率电气
 °CØ x h单位千瓦接线*
SVHT 2/24-W2400150 x 1502,5140025002100553相
SVHT 9/24-W2400230 x 2309,5150027502100953相
         
SVHT 2/30-Gr3000150 x 1502,5140025002100553相
SVHT 9/30-Gr3000230 x 2309,5150027502100953相
*有关接线电压的注意事项请参见第 62 页

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冷壁干馏炉,温度可达 2400 °C
 
 VHT 8/22-GR 带有石墨隔离装置和加热装置以及自动工序包 VHT 40/22-GR 带有石墨隔离装置和加热装置

在氢气环境下,在 VHT 08/16 MO 炉型内对铜棒进行热处理

VHT 8/18-GR - VHT 100/18-KE

VHT 系列的紧凑型炉为电控加热箱式炉,采用石墨、钼或 MoSi2 加热装置。无论是通过不同的加热方案还是各种附件,这些炉子均可以实现技术要求严格的客户工艺流程。

真空工艺容器既可以在防护和反应气体环境下页可以根据炉子规格在 10-5 毫巴的真空环境下进行热处理。基本炉型适用于不可燃烧的防护气体或真空。

H2 规格允许在氢气或其它可燃气体环境下操作。该规格的关键在于经过认证的安全工序包,它可以随时确保安全运行并在发生故障时调用导入相关的紧急程序。

如果炉内需要在真空环境下排胶,我们建议采用 VDB 规格,该规格除了带有相关的安全装置外,还在加热腔内配有一个附加排胶干馏器,用于防止产生的废气污染炉腔。废气从排胶干馏器导入废气点火装置。

不同的加热规格

通常,可采用不同应用温度的以下炉型:

VHT ../GR 带有石墨隔离装置和加热装置

  • 可在防护和反应气体或真空条件下用于工艺流程
  • 最高温度 1800 或 2200
  • 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-2 毫巴
  • 石墨隔离装置
  • 通过 B 型热电偶进行温度测量(适于 1800 以下的版本)
  • 通过光学高温计进行温度测量(适于 2200 以下的版本)

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石墨加热芯

钼或钨加热芯

陶瓷纤维加热芯

VHT ../MO 或 ../W 带钼或钨加热装置

  • 可在防护和反应气体或高真空条件下用于高纯度工艺流程
  • 最高温度 1200 °C, 1600 °C 或 1800 °C (见表)
  • 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 5 x10-5 毫巴
  • 钼钢插板制成的隔离装置
  • 通过 1200 °C 炉型的 S 型热电偶进行温度测量
  • 通过1600 °C和1800 °C 炉型的 B 型热电偶进行温度测量

VHT ../KE 带有纤维隔离装置和加热装置,通过二硅化钼制成的加热元件加热

  • 可在防护和反应气体或空气或真空条件下用于工艺流程
  • 最高温度 1800
  • 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-2 毫巴 (可达 1300 )
  • 高纯氧化铝纤维制成的隔离装置
  • 通过 B 型热电偶进行温度测量
 VHT ...-../GRVHT ...-../MOVHT ...-18/WVHT ...-18/KE
惰性气体
空气可达 400 ℃--
氢气*
粗、细真空 (>10-3 毫巴)²
高真空(<10-5 毫巴)--
氧气---
 

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标准规格 适于所有型号
 
VHT 40/16MOH2  

单级旋转滑阀泵,用于在20毫巴以下的粗真空内进行热处理

用于在 10-2 毫巴真空下进行热处理的旋转滑阀泵

带有用于在 10-5 毫巴的真空下进行热处理预置泵的涡轮分子泵

基本型

  • 标准大小为 8、40 或 100 升炉腔
  • 全侧水冷却的不锈钢制成的工艺容器,采用耐高温 O 型环密封
  • 由牢固钢型材制成的底板,保养方便,可轻易拆卸的不锈钢饰板
  • VHT 8 炉型的炉膛,配有滚轮,炉子可便捷地移动
  • 在预流和回流液路中带有手动截止阀的冷却水分配器,自动流量监控,开放式的冷却水系统
  • 可调节的冷却水回路,带有流量和温度显示屏和过温保险装置
  • 开关设备和控制器安装在炉膛内
  • H 700 PLC 调节装置,带有 5.7“ 触摸面板,用于程序输入和可视化操作,可以保存 10 个程序和 20 个区段
  • 带有可调节断电温度并用于符合 EN 60519-2 标准的热防护等级 2 的温度选择限制器
  • 工艺气体和真空功能的手动操作
  • 用于工艺气体的手动供气系统 (N2 或 Ar),带有可调节流量
  • 带有手动阀的旁通阀,用于炉腔快速填充或排放
  • 带有过流阀门的手动气体排出阀(相对压力为 20 毫巴)
  • 带有球阀的单层旋转滑阀泵,用于预抽真空并且用于在 5 毫巴的粗真空下进行热处理
  • 用于可视化压力监控的压力计

辅助装备

  • 最高温度 2400
  • 炉膛可选择隔离分区用于通过小门开口装入 (VHT 08)
  • 用于第二种工艺气体的手动供气系统 (N2 或 Ar),带有可调节流量和旁通阀
  • 带有直接供气装置的钼和 CFC 石墨干馏器,以确保干净的环境并改善炉腔内的温度均匀性
  • 带有显示屏的装载热电偶
  • 带有球阀的双层旋转滑阀泵,用于预抽真空并且用于在 10-2 毫巴的真空下进行热处理
  • 对于 2200 以下炉型而言,通过高温计和S型热电偶进行温度测量,带有自动取出装置,确保了在较低温度范围内非常良好的调节效果 (VHT 40 以上)
  • 带有截止滑阀的涡轮分子泵用于 10-5 毫巴下的预抽真空和热处理,包括电子压力传感器和预置泵 (仅 VHT.../MO)
  • 带有密闭冷却水回路的热交换器
  • 带有 H 3700 型图像触摸面板的自动工序包
    • 12“ 图像触摸面板 H 3700
    • 通过触摸面板输入温度、加热率、供气、真空等所有工艺数据
    • 将所有工艺相关的数据显示在工艺流程图上
    • 用于工艺气体的自动供气系统 (N2,Ar 或成型气体),带有可调节流量
    • 通过程序采用工艺气体对容器排放和填充的旁通阀
    • 自动预设和后置程序,包括用于安全运行的泄漏测试
    • 带有折叠阀和过流阀的自动气体排出阀(20 毫巴)
    • 绝对和相对压力的压力传感器
  • MFC 流量调节器,用于变换的流量并与第二种工艺气体生成混合气体(仅适于自动工序包)
  • 分压力运行:在调节负压时导入防护气体(仅适于自动工序包)
  • 通过 NCC 进行电脑控制,可以连接客户的电脑网络
型号干馏炉的内部尺寸(以毫米为单位)容积以长度为
 宽度深度高度单位
VHT 8/..1202101504
VHT 40/..28043025030
VHT 100/..43053040091

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 VHT 08/16 MO 带有氢气拓展工序包作为自动版本
H2规格,VHT.../MO-H2 或 VHT.../GR-H2,用于使用氢气或其它可燃气体进行操作

在 H2 规格中,可以采用 VHT.../MO 或 VHT.../GR 系列的炉子操作氢气或其它可燃气体的环境。对于这些应用而言,浙西而设备可以额外装备所需的安全装置。作为安全相关的传感器,仅采用带有相关认证证书的零部件。炉子通过一个无故障的控制系统(S7-300F/安全控制系统) 进行调节。

  • 经过认证的安全设计方案
  • 自动工序包(见上述辅助装备)
  • 冗余氢气进气阀
  • 所有工艺气体的预压均受到监控
  • 设有用于使用惰性气体冲刷炉腔的旁通阀
  • 用于压力监控的紧急流通容器,带有自动打开的电磁阀
  • 废气点火装置(电控或气体加热),用于对 H2 进行再燃烧
  • 大气环境操作:H2 导入在室温以上在工艺容器内可调节过压(相对压力50毫巴)时进行

辅助装备

  • 分压力运行:H2 导入在 750 炉腔温度以上在工艺容器内可调节过压(分压力)时进行
  • 工艺容器中干馏器,用于在氢气环境下排胶

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VHT 供气示意图,排胶和烧结

VDB 规格 VHT.../MO-VDB 或 VHT.../GR-VDB,用于在防护气体、氢气或真空条件下排胶

特定的工艺需要在防护气体或真空条件下排胶。对于这些工艺而言,VHT.../MO-VDB 或 VHT.../GR-VDB 型特别适用。它带有必要的安全装置,用于排胶。炉腔配有一个额外的排胶干馏器,在废气点火器内设有一个直接的排出阀。通过该系统可以确保排胶产生的废气不会污染炉腔。

  • 经调试的用于排胶的安全方案
  • 自动工序包(见上述辅助装备)
  • 用于燃烧废气的废气燃烧装置
  • 炉腔内的排胶干馏器,在废气点火器内设有一个直接的排出阀
  • 设有用于使用惰性气体冲刷炉腔的旁通阀
  • 干燥运行的真空泵

辅助装备

  • 用于将真空排胶时大部分粘合剂量析出的冷凝水槽
  • 加热的废气排出阀,用于放置冷凝水聚集在废弃路径上
  • 根据工艺的不同,废气通过粘合剂槽、清洗器或废气燃烧器进行后处理
型号最高温度内部尺寸(以毫米为单位)容积以长度为外部尺寸(以毫米为单位)接线电气重量以公斤材料
 bth单位宽度深度高度值/千瓦1接线*为单位加热器/隔离装置
VHT 8/..-GR180017024020081250 (800)¹1100200027.03相²1200石墨/石墨毡垫
VHT 40/..-GR3004503004016002100230083.03相2000石墨/石墨毡垫
VHT 100/..-GR220045055045010019002600250085,0/100,0³3相2800石墨/石墨毡垫
             
VHT 8/18-W180017024020081250 (800)¹1100270050.03相²1700钨/钼
VHT 40/18-W18003004503004016002100230090.03相3500钨/钼
VHT 100/18-W1800450550450100190026002500130,03相4500钨/钼
             
VHT 8/..-MO120017024020081250 (800)¹1100270015.0/34,043相²1200
VHT 40/..-MO3004503004016002100230030.0/70,043相3000
VHT 100/..-MO160045055045010019002600250050,0/110,043相4000
             
VHT 8/18-KE180017024020081250 (800)¹1100200012.53相²1200MoSi2/陶瓷纤维
VHT 40/18-KE18003004503004016002100230030.03相2000MoSi2/陶瓷纤维
VHT 100/18-KE180045055045010019002600250055,03相2800MoSi2/陶瓷纤维
¹对于拆下的开关设备单元而言 *有关接线电压的注意事项请参见第 62 页
²仅在两个相位之间的加热装置 41200 °C/1600 °C
³1800 °C/2200 °C 1在氢气环境下使用时须考虑更高的连接值

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